quanta 450 钨灯丝扫描电镜
制造厂商：美国fei公司
设备用途：扫描电镜主要用于各种材料的组织形貌观察，材料断口分析和失效分析；配备能谱仪可进行材料实时微区的成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量；配备背散射电子衍射仪（ebsd）可进行晶格取向分析；配备非金属夹杂物分析软件可进行夹杂物定性定量分析。
设备特点：对于失效分析、质量控制和材料表征而言，quanta 450钨灯丝扫描电镜具有经济、高效的高分辨成像和分析应用的欧洲杯外围平台的解决方案，应对不导电样品，quanta 450提供了低真空模式下的高性能、消除了对专用的样品制备步骤；另外quanta 450加上了换扫模式，扩展了sem的成像和分析功能。
技术参数：
1.分辨率：（1） 二次电子（se）成像：
高真空模式：30kv时≦3.0nm；3kv≦8.0 nm
低真空模式：30kv时≦3.0nm；3kv≦10.0 nm
环境真空模式：30kv时≦3.0nm
（2） 背散射电子（bse）成像
高、低真空模式：30kv时≦4.0nm
2.放大倍数：高真空模式下，13x-1000000x
放大倍数误差：≦3%
3.牛津能谱仪（eds）：能量分辨率：mnka保证由于127ev，
元素分析范围：be4~cf98。
